氦氣泄漏檢測(cè)是一種極其靈敏且廣泛應(yīng)用的無(wú)損檢測(cè)技術(shù)，主要用于查找各種密封系統(tǒng)（從微型電子元件到大型工業(yè)設(shè)備）中的微小泄漏點(diǎn)。

一、檢測(cè)方法

真空噴氦法（內(nèi)向檢漏法）

原理：被測(cè)件內(nèi)部抽真空（≤5×10?³ Pa），外部噴氦氣；漏點(diǎn)處氦氣被吸入質(zhì)譜儀檢測(cè)。

適用場(chǎng)景：可抽真空的封閉系統(tǒng)（如真空腔體、半導(dǎo)體設(shè)備）。

靈敏度：最高達(dá)5×10?¹³ Pa·m³/s。

吸槍法（外向檢漏法）

原理：被測(cè)件內(nèi)部充氦氣（壓力0.1–0.3 MPa），外部用吸槍掃描捕獲逸出氦氣。

適用場(chǎng)景：大型設(shè)備（如儲(chǔ)罐）、帶壓系統(tǒng)或不可抽真空部件。

限制：環(huán)境氦背景需低于10?? Pa，掃描速度≤25 mm/s。

累積法（罩罩法）

原理：充氦工件外罩密閉腔體，累積泄漏氦氣后采樣分析。

適用場(chǎng)景：微小泄漏檢測(cè)（如核燃料棒、醫(yī)療器械）。

靈敏度：最小可測(cè)漏率1×10?? mbar·L/s。

進(jìn)階技術(shù)

背壓法：工件高壓氦浸泡后轉(zhuǎn)入真空室測(cè)量逸出量。 多探頭同步監(jiān)測(cè)：128通道并行采集，提升效率。

二、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

容大檢測(cè)成立于2008年，是一家專業(yè)第三方研究機(jī)構(gòu)，擁有CMA和CNAS雙重資質(zhì)。秉承“科學(xué)，公正、創(chuàng)新、高效”的質(zhì)量方針，容大檢測(cè)為您提供氦氣泄漏檢測(cè)測(cè)試服務(wù)。

涉及測(cè)試：氦氣泄露檢測(cè)